ABR


  1. 概要
    ABRシリーズは,光ヘテロダイン干渉法による共通光路干渉計とフーリエ解析法を利用することで,高分解能・高精度で,しかも振動,空気揺らぎなどの外乱に影響を受けないという特徴を持っています. オプションの負荷装置を搭載することで光弾性定数測定が可能になります.
  2. 簡易性能比較
     ABR-10A
    高精度測定型
    ABR-22
    直線複屈折・円複屈折の同時測定
    ΔφΔφ旋光角
    分解能0.01 nm0.1 deg.0.4 nm0.2 deg.0.2 deg.
    0.006 deg.0.2 deg.
    範囲0 - 260 nm± 90 deg.0 - 316 nm± 90 deg.± 90 deg.
    0 - 150 deg.0 - 180 deg.
    時間Appx. 1 sec. / pointAppx. 30 sec. / point
    概略ABR-10Aは,試料の持つ複屈折量(直線複屈折)とその主軸方位とを,高精度に測定することが可能です.ABR-22は,複屈折とその主軸方位だけでなく,旋光角を同時かつ独立に測定することが可能です.結晶,液晶,高分子材料等の様々な重要特性を定量的に測定できます.
    用途半導体製造装置関連
     ・ステッパーレンズ素材
     ・フォトマスクブランクス
     ・半導体基板
     ・結晶の欠陥評価
    液晶
     ・液晶の配向特性評価
     ・高分子膜の配向特性評価
     ・ラビング良否評価
     ・ガラス基板の内部応力評価
    光学素子
     ・波長板の位相差特性評価
     ・レンズ,プリズム
     ・光弾性定数
    ・液晶セル(TN,STN等)の配向特性評価
    ・ファラデー素子等の非線形光学素子の評価
    ・高分子材料(光機能性高分子)の評価

  3. 構成バリエーション
  4. 測定パターン例
    こちらをご覧ください.