ABR 構成バリエーション



  • 試料ステージ走査範囲
    試料ステージタイプ標準ステージの大きさステージの状態
    XZステージ50 x 50 mm垂直
    100 x 100 mm
    XYステージ100 x 100 mm水平
    200 x 200 mm
    300 x 300 mm
    400 x 400 mm
    500 x 500 mm
    600 x 600 mm
    1000 x 1000 mm
    1200 x 1200 mm
    Yステージ
    (試料ステージがY軸方向移動し,投光,受光用のステージがX軸方向へ移動する)
    2200 x 2200 mm *水平または,起き上がるタイプを選択
    2700 x 2700 mm *
    3200 x 3200 mm *
    3400 x 3400 mm *
    3700 x 3700 mm水平タイプのみ
    重量のある試料用ステージ(XYステージ)600 x 600 mm水平 耐荷重Max : 160 kg
    *オプションで試料着脱時に試料ステージを起こす機構の取り付けが可能です.

    • 100 x 100 mm & 傾斜ステージ
      高分子フィルムなど,比較的小さなサンプルで,屈折率楕円体の計測に便利です.ステージ駆動部分をカバーしてありますので,安全です 写真は,タッチパネルディスプレイを搭載(オプション)した例です.

    • 300 x 400 mmm10A_30
      液晶基板 & ラビング膜の検査用に採用されたモデルです.写真は,タッチパネルディスプレイを搭載(オプション)した例です. 制御用のPCなどは,試料ステージ下部に全て組み込まれていて,本体以外に設置面積を必要としません.

    • 400 x 400 mmABR10_40
      大型ガラスブロックなどの計測にお使いいただけます.試料ステージ上面部を大きく開けていますので,ステージ上にさらに傾斜ステージなどを搭載することも可能です.写真のモデルは,耐荷重30 kgのステージですが,ご要望に応じてさらに大きな耐荷重ステージも可能です.

    • 1200 x 1200 mmmabr120
      液晶基板ガラスなど,面積の大きな試料を計測するためのステージを搭載した例です.このタイプの装置の設置床面積は約3000 x 3000 mm程度になります.制御用のPCは,写真の装置本体と別に設置します.

    • 2100 x 2100 mm10A_210
       液晶基板ガラスなど,面積の大きな試料を計測するためのステージを搭載した例です.計測時間を短縮化するため,測定光学系を2基搭載し2連の同時計測を行います.

    • 2700 x 2700 mm
      液晶基板ガラスなど,面積の大きな試料を計測するためのステージ構成です.
      ABR-10A-270ABR-10A-270パレット傾斜時

  • 安全対策用カバー装着m40_cov

    ステージ移動中の事故を防ぐために,装置全体をシールドすることが可能です.(オプション)お客様社内の安全管理規格に対応いたします.前トビラを開くと,ステージの移動が停止するよう制御されています.

     

  • 実験装置型

    このタイプの装置は,光学定盤上に干渉計をセットするものです.装置や試料ステージの構成を容易にアレンジすることが可能です.また,教育現場向けに光ヘテロダイン干渉実験装置としてもお使いいただけます.

     

  • 透過・反射測定システムTRandRF

    光検出ユニットを回転ステージに搭載することで,透過光の測定だけでなく,反射光の複屈折も計測できます.写真は,2アーム旋回ステージを用いて透過光と反射光の両方を同時に計測するためのシステム例です.このシステムを応用して様々な実験システムが構築できます.

     

  • 回転・傾斜対応試料ステージ

    XYステージ上に,回転ステージと傾斜ステージを追加した4軸試料ステージを搭載したシステムです.試料が厚くなると,試料を傾斜させることで光軸が横ずれを起こします.これに追従するために光検出ユニットは1軸ステージに搭載されています.

     

  • 光弾性定数測定Pho_ela

    ABRに加圧装置を組みあわせることで「光弾性定数測定」が高精度・高分解能で行えます.本装置は,加圧装置の制御も同時に行うため,全自動測定が可能となりました.また,独自の処理方法により,試料に残留歪や,プラスチックなどでは配向歪があった場合でも,それに影響されずに光弾性定数を求めることが可能です.