大面積走査顕微鏡


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  1. 概要
      大面積走査顕微鏡(EXPloratory microscope for Extensive aRea with Transmitted_light, EXPERT-G2)は,写真乾板やガラス基板などの試料の測定と解析を目的に開発された光学顕微鏡機構です.
  2. 機能と特徴
    • 大面積高精度XYステージ
      • 位置分解能 1 μm            クローズドループ
      • ステージストローク            400 x 400 mm
    • 高精度Zステージ
      • ステッピングモータ駆動にピエゾ素子による駆動を付加可能
    • 大面積高剛性透過ステージ
    • カメラ同期光源
      • CDDカメラのシャッター同期信号と同調(CCDカメラはオプション)
      • 超高輝度白色LED採用    熱線・紫外線が出ないため,試料へのダメージがありません
    • 試料吸着ホルダー
      • 試料の形状に合わせた真空吸着ホルダーを搭載可能

  3. 応用分野
    • 写真乾板に記録された素粒子・原子核反応の飛跡検出
    • フォトマスク等の各種パターンの欠陥検査
    • 細胞培養セルにおける培養状態の検査

  4. 主な仕様
    顕微鏡部焦点振動方法
    (Z軸)
    ステッピングモータによる駆動
    • エンコーダによるクローズドループ制御
    • 移動量 30 mm,読み取り単位 0.1 μm
    ピエゾ素子による駆動
    • 移動量 : オープンループ : 550 μm,
      クローズドループ 500 μm
    • 精度 : フルストロークの0.007 %
    レボルバー5個孔手動標準レボルバー(明視野タイプ)
    鏡筒3眼T型鏡筒または直筒方式
    照明部透過照明
    光学系
    • 簡易ケーラー照明(開口数NA=0.85の長焦点コンデンサレンズ)
    • 高輝度LED照明および駆動電源装置
    ステージ部
    (XY軸)
    ストローク
    駆動方法
    • 400 mm x 400 mm
    • ステッピングモータによる駆動
    • エンコーダによるクローズドループ制御
    • ドライブ速度 : 最高50 mm/sec.
    • 読み取り精度 : 1 μm
    • 位置再現性 : 15 μm以下
    試料ホルダーガラス基板
    • サイズ : 408 mm x 408 mm
    • 専用吸着ホルダー搭載可能
    専用架台除振装置
    • ゴム式除振
    • 重量 300 kg/m2以下