高空間分解能計測アタッチメント


光検出系に光ファイバーを搭載することで,測定における空間分解能を高めることが可能です. 図に,LiNbO3ウェハーの欠陥部を測定した例(従来法との比較)を示します. 空間分解能 : φ 100 μm,φ 50 μm

High_resLN_defect