SBV-20

半導体ウエハの欠陥観察器(SBV-20) sbv20

  1. 概要
      半導体結晶は，引き上げ時に結晶の向きがわずかにずれる欠陥が生じます．欠陥観察器はこの欠陥を簡便に検査するものです．ニオブ酸リチウム結晶など，可視光を透過するウェハーの検査に最適です．光弾性実験装置としても使用可能です．

  2. 仕様
    • 偏光素子　：　φ 150 mm
    • 観察領域　：　φ 140 mm
    • 観察方法　：　クロスニコル法，円偏光法など組み合わせを変えられます.