SBV-20


半導体ウエハの欠陥観察器(SBV-20) sbv20


  1. 概要
      半導体結晶は,引き上げ時に結晶の向きがわずかにずれる欠陥が生じます.欠陥観察器はこの欠陥を簡便に検査するものです.ニオブ酸リチウム結晶など,可視光を透過するウェハーの検査に最適です.光弾性実験装置としても使用可能です.
  2. 仕様
    • 偏光素子 : φ 150 mm
    • 観察領域 : φ 140 mm
    • 観察方法 : クロスニコル法,円偏光法など組み合わせを変えられます.