Q&A


ユニオプト製品をより深くご理解いただけるよう,寄せられた質問とその答えを掲載しております.詳細には該当ページをリンクしております.

  • 他の(測定原理の異なる)測定器とのデーターの相関性はあるか.(信頼性)
    • 複屈折=光学的位相差という量の国家標準試料というものは,日本をはじめ,アメリカや, それ以外のどの国にもありません.したがって,絶対値を保証できる測定方法は,少ないと考えられます. 弊社が採用しております光へテロダイン干渉法は,位相差を光電変換して直接的に光学的位相差を測定できるため絶対値が測定できます.そして,絶対位相差ゼロ(サンプル無しの空気)と,位相差 1/4λ=90度(1/4λのフレネルロム)により校正しておりますので信頼性が高いと考えられます.
  • 計測サービスに依頼した場合の納期・金額は?
    • 通常,測定サンプル到着後,2週間以内に測定データをお送りいたします.料金は,こちらをご覧ください.

 

  • ABRシリーズについて
    • 633 nm以外の波長での測定が出来るか
      • 光ヘテロダイン干渉法を利用する測定装置では,御用意しておりません.
      • 別の測定方法により,個別に対応しております.詳細.
    • 安価な仕様の製品があるか
      • 個別に相談させていただいております.
    • レンズやプリズムが計れるか
      • 液浸法と呼ばれる「屈折率整合液」に試料を浸す方法があります.詳細.
      • ダイレクトに測定される場合には,光学系のカスタマイズが必要になります.
      • 試料をお貸しいただければ,検討させていただきます.
    • 大きな試料が計れるか
      • 3700 x 3700 mmサイズまで,対応いたします.詳細.
    • 除振装置は必要か
      • 必要ありません.共通光路干渉計を使っているために,床振動に影響されません.
    • 空気揺らぎに影響されるか
      • されません.共通光路干渉計を使っているために,空気揺らぎにも影響されません.
    • 空調設備は必要か
      • 空調設備の必要性は,被測定試料によります.一般に室温が変化すると,試料の中で応力が発生します. そのため,温度変化による複屈折が生じます.
      • 室温の変化による,装置への影響はほとんどありません.
    • DVD貼りあわせディスクの評価に使えるか
      • ディスクを張り合わせることで複屈折が生じるのであれば,これを評価することは可能です.詳細.
    • 反強誘電液晶のセルギャップが計れるか
      • ねじれ構造を持たない液晶パネルのセルギャップは,複屈折を測定することで評価できると考えます.
    • 空間分解能はどのくらいか
      • 試料ステージ のところで,レーザーのビーム径は約1 mmとなっています.基本的には,測定値は, レーザービーム内の平均値を示すと考えられます.ですが,ビームの強度はガウス状に分布していることを考慮すると, 測定値は強度平均となっていると思われます.
      • オプションにて,空間分解能50 μmまで対応が可能です.詳細.
    • 空間分解能を高めたい(微小エリアを計りたい)
      • 一般に空間分解能を高めるためには,レンズ等を用いてレーザーのビーム径を絞ります.しかし,ビームを絞ることで,「試料に対する光の入射角が,ビーム内で一様とはならない」という問題が生じます.一般的な試料の複屈折量は,光の入射角に対して大きく変化しますので,得られる値は試料の複屈折を正確に反映しないと考えます.
      • 以上の理由からユニオプトは「光ファイバーを用いた測定方法」を開発し,USパテントを取得いたしました.現在では空間分解能50 μmまでの計測が可能です.詳細.
    • 光弾性定数は計れるか
      • 試料ステージ部に加圧装置を搭載することで,計測可能です.専用アプリケーションを用いることで,1*10^{-3} [nm/cm] / [kgf/cm^2] 以下の測定経験があります.フィルムの延伸や円盤ガラスの圧縮も可能です. 詳細.
    • エリプソメーターと同じものか
      • 機能的には,同じものとお考えいただいて結構です.ただし,通常のエリプソメーターに対して,測定レンジが広い,測定分解能が高いという特徴があります.詳細.
    • 反射光学系でできるか
      • 可能です.このときの測定精度等に関しては,別途ご相談させていただきます.詳細.

 

  • ABR-10Aについて
    •  計測サービスにて,複屈折の斜入射測定は出来るか
      • 出来ます.測定における制約は,ステージと試料の厚さに依存します.詳細.
      • 試料の厚さが厚くなりますと,別途測定治具作成費が必要となります.
    • 計測サービスにて計測可能な試料の大きさは?
      • 400 x 400 mmの試料ステージを持ったものがありますから,これ以下は可能です.詳細.
      • 厚さは200 mm程度までは問題ありません.
    • 非研磨面をもつ試料の測定ができるか
      • 残念ながらできません.この場合には,オイルオンプレート法,液浸法をお勧めしております.
    • 大型ブロックの測定が出来るか
      • 出来ます.測定における制約は,ステージに依存します.詳細.
    • 位相差90度の測定が出来るか
      • 出来ます.ダイナミックレンジは,0~150度としております.詳細.
      • ABRは,複屈折を求めるときの計算方法が他の測定と異なります.
        • リターデーション[Δ]を求めるときに, ABRは,tanΔ として,その他の測定機は,sinΔ として求めます.ですから,ABRはダイナミックレンジが広いのです.
        • ちなみに,ABR-22は,±180度です.