SBR-01


  1. 概要
     SBR-01は,複屈折測定法としてもっともポピュラーなものの一つとしてあげられる,セナルモン法がベースになっています.セナルモン法は,日本光学硝子工業会の硝子の歪(複屈折)測定において標準測定法として採用されています.この光学測定原理はそれに使われる光学素子のアライメント誤差に対して他の測定原理よりも測定誤差を生じにくいことも知られています. SBR01
  2. 性能
     仕様複屈折位相差
    測定性能分解能0.1 deg. (0.2 nm at 633 nm)
    範囲± 180 deg.
    (± 316 nm at 633 nm)
    繰り返し精度± 0.2 deg. (± 0.4 nm at 633 nm)
    時間Appx. 3 sec. / point
    光学系測定原理セナルモン測定法
    光源He-Neレーザー (λ=632.8 nm)
    オプションによりその他の波長も検討致します.
    試料ステージ系固定方法別途相談(標準走査範囲 : 50 x 50 nm以下)
    試料の主軸方位は既知(主軸方位固定)であること.