SBR-02


  1. 概要
     SBR-02は,エリプソメータで用いられている回転偏光子法がベースになっています.光学系は,ほぼSBR-01と同じ構成になっていますが,光源側の偏光子を回転させることで試料の複屈折位相差と主軸方位とを同時に求めることが可能です.SBR02
  2. 性能
     仕様複屈折位相差主軸方位角
    測定性能分解能0.1 deg. (0.2 nm at 633 nm)0.1 deg.
    範囲0 - 85 deg.
    (0 - 150 nm at 633 nm)
    ± 90 deg.
    繰り返し精度0.2 deg. (0.4 nm at 633 nm)0.1 deg.
    時間Appx. 3 sec. / point
    光学系測定原理回転偏光子法
    光源He-Neレーザー (λ=632.8 nm)
    オプションによりその他の波長も検討致します.
    試料ステージ系固定方法別途相談(標準走査範囲 : 50 x 50 nm以下)
    試料の主軸方位は既知(主軸方位固定)であること.