SBR-03


  1. 概要
    SBR-03は,ユニオプトが新しく開発した測定原理に基づいた複屈折測定装置です.試料に入射させる偏光状態を変調しながら回転させることによって,試料の複屈折と主軸方位を同時に求めます.測定ダイナミックレンジが広いこと,測定分解能が高いことが特徴です. (特許第3844222号)s-br3s
  2. 性能
     仕様複屈折位相差主軸方位角
    測定性能分解能0.05 nm (at 633 nm)0.2 deg.
    範囲0 - 180 deg.
    (0 - 316 nm at 633 nm)
    ± 90 deg.
    繰り返し精度0.06 nm (Re = 0 nm)
    0.3 nm (Re = 158 nm)
    -
    0.5 deg.
    測定速度Appx. 1 sec. / point
    光学系測定原理偏光変調回転法
    光源He-Neレーザー (λ=632.8 nm)
    オプションによりその他の波長も検討致します.
    試料ステージ系固定方法別途相談(標準走査範囲 : 50 x 50 nm以下)