ABR

  1. 概要
    ABRシリーズは，光ヘテロダイン干渉法による共通光路干渉計とフーリエ解析法を利用することで，高分解能・高精度で，しかも振動，空気揺らぎなどの外乱に影響を受けないという特徴を持っています． オプションの負荷装置を搭載することで光弾性定数測定が可能になります．
    **ABR-10A, 及びABR-22は販売を終了致しました。ABR-10Aの後継機は高速化したABR-100となります。

  2. 簡易性能比較
    ABR-100 高精度測定型
    Δφ
    分解能0.01 nm0.1 deg.
    0.006 deg.
    範囲0 - 260 nm± 90 deg.
    0 - 150 deg.
    時間Appx. 0.1 sec. / point
    概略ABR-100は，試料の持つ複屈折量（直線複屈折）とその主軸方位とを，高精度に測定することが可能です．
    用途半導体製造装置関連
    　・ステッパーレンズ素材
    　・フォトマスクブランクス
    　・半導体基板
    　・結晶の欠陥評価
    液晶
    　・液晶の配向特性評価
    　・高分子膜の配向特性評価
    　・ラビング良否評価
    　・ガラス基板の内部応力評価
    光学素子
    　・波長板の位相差特性評価
    　・レンズ，プリズム
    　・光弾性定数
  3. 構成バリエーション
  4. 測定パターン例
    こちらをご覧ください．