高空間分解能計測アタッチメント

---

光検出系に光ファイバーを搭載することで，測定における空間分解能を高めることが可能です． 図に，LiNbO3ウェハーの欠陥部を測定した例（従来法との比較）を示します． 空間分解能 ： φ 100 μm，φ 50 μm

---