- 概要
脈理観察器(UMY-10)は，様々な透明体試料の屈折率の乱れ(=脈理*)を簡単に観察することができる装置です．シュリーレン法を応用した光学系にカメラを組み合わせ，モニターで観測することで，脈理検査に対して特別な訓練を必要とせず，高感度な検査を行うことができます．
- 主な機能と特徴
- 高感度カメラ
- 10倍ズームレンズ
- 超高輝度白色LED光源
- 視野Φ 75 mm
- 応用分野
- 光学ガラスの脈理検査
- 化合物半導体ウェハーの結晶欠陥検査
- 流体観測実験
- 観測例
ガラスの脈理(光学ガラスではありません)
エアノズルから噴出するガスの流れ
*脈理とは，ガラス等透明体の屈折率が局所的に変化している部分のことをいいます．空気のような気体でも同様な屈折率の乱れが生じます．スプレーのノズルから出射するガスの流れも屈折率が異なる為，脈理観察器はこれらの空気の乱れなどを明確に観察することができます．ガラス等の表面の傷や研磨ムラ(柚子肌など)も検出することが可能です．レンズなど平面でない形状の試料はレンズ試料と同じ屈折率を有する液体(屈折率整合液)中に浸けることで観察が可能になります(液浸法)．UMY-20型(光軸水平型)では，光学系のアレンジ，及び専用治具を用いることでより液浸法よりも簡便な観察が可能になります．